應(yīng)變式壓力傳感器:外界的壓力(或拉力)引起應(yīng)變材料的幾何形狀(長度或?qū)挾龋┌l(fā)生改變,進(jìn)而導(dǎo)致材料的電阻發(fā)生變化,檢測這個(gè)電阻變化量可以測得外力的大??;壓阻式壓力傳感器:半導(dǎo)體壓阻式傳感器在受到外力后,其晶格參數(shù)發(fā)生改變,影響到禁帶寬度,然后引起載流子密度很大的改變,最終引起材料的電阻率發(fā)生改變。可見兩種材料雖然都對外力變化呈現(xiàn)出電阻的變化,但原理不同。另外,應(yīng)變式材料對外力的敏感度遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于半導(dǎo)體壓阻材料,后者的靈敏度是前者的約100倍;應(yīng)變材料特性受溫度影響較小,而半導(dǎo)體壓阻材料對溫度敏感。
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