還原爐底盤的安裝是一個(gè)較為復(fù)雜的過程，需要特定的裝置和步驟。

首先，有一種還原爐底盤螺栓安裝裝置，包括環(huán)形體和多個(gè)頂升機(jī)構(gòu)。環(huán)形體設(shè)置在還原爐底盤下方，其上表面與多個(gè)螺桿下端固定連接，每個(gè)螺桿上端對應(yīng)底盤的螺栓孔。多個(gè)頂升機(jī)構(gòu)均勻分布在環(huán)形體下方，其上端與環(huán)形體下表面連接，用于帶動(dòng)環(huán)形體上下移動(dòng)。

頂升機(jī)構(gòu)可以是氣缸機(jī)構(gòu)，氣缸機(jī)構(gòu)的活塞桿連接環(huán)形體下表面。也可以包括主動(dòng)齒輪和齒條，主動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在環(huán)形體下方，齒條與主動(dòng)齒輪嚙合，齒條上端連接環(huán)形體下表面。

還可能包括多個(gè)清潔機(jī)構(gòu)，環(huán)形體均布多個(gè)通氣管，每個(gè)清潔機(jī)構(gòu)包括從動(dòng)齒輪、搖桿、遞推桿、活塞板和活塞缸。從動(dòng)齒輪嚙合主動(dòng)齒輪，搖桿一端連接從動(dòng)齒輪輪面邊緣，另一端連接遞推桿一端，遞推桿另一端貫穿活塞缸側(cè)壁并固定連接活塞板，活塞缸側(cè)壁有進(jìn)氣口和出氣口，進(jìn)氣口和出氣口位于活塞板同一側(cè)，分別安裝有第一單向閥和第二單向閥，出氣口連接通氣管下端?；钊讉?cè)壁還安裝有安全閥。

在安裝過程中，當(dāng)還原爐中的硅棒完成沉積反應(yīng)后，操作工將螺桿上端螺帽拆卸，然后通過控制頂升機(jī)構(gòu)帶動(dòng)環(huán)形體向下移動(dòng)，使螺桿上端脫離鐘罩法蘭孔和底盤螺栓孔。這樣在吊起鐘罩時(shí)不會(huì)碰傷螺桿螺紋，拆卸底盤上的硅棒時(shí)鐵屑也不會(huì)掉落污染。

完成拆卸硅棒并清掃底盤后，將鐘罩放置在底盤上表面并對應(yīng)好螺栓孔，再啟動(dòng)頂升機(jī)構(gòu)帶動(dòng)環(huán)形體和螺桿向上移動(dòng)，避免螺桿螺紋碰觸鐘罩法蘭孔內(nèi)緣。通過這種安裝裝置，提高了安裝效率，避免了螺桿螺紋損傷，減少了備品備件更換頻率。

另外，還有一種多晶硅還原爐底盤，包括承載盤，承載盤有彼此相對的第一和第二表面，以及貫穿的多個(gè)加熱通孔和包圍加熱通孔的多個(gè)導(dǎo)電通孔。多個(gè)第一導(dǎo)電電極安裝在加熱通孔中，安裝端在第一表面之上。多個(gè)第二導(dǎo)電電極安裝在導(dǎo)電通孔中，安裝端也在第一表面之上。多個(gè)石墨預(yù)熱棒固定在第一導(dǎo)電電極安裝端上，多個(gè)硅芯固定在第二導(dǎo)電電極安裝端上。

當(dāng)多晶硅還原爐啟動(dòng)時(shí)，先在爐內(nèi)充入惰性氣體并控制壓力，接著向第一導(dǎo)電電極提供電流讓石墨預(yù)熱棒加熱，使?fàn)t內(nèi)溫度達(dá)到預(yù)定范圍，再向第二導(dǎo)電電極提供預(yù)定電壓范圍的電壓導(dǎo)通硅芯。

在多晶硅還原爐的吊裝過程中，采用“多機(jī)配合翻身起吊法”。設(shè)備卸車后將還原爐的盤管和底盤拆分，將底盤翻身并運(yùn)輸、吊裝就位。底盤翻身時(shí)可放置于特定的翻身支架上。將鐘罩翻身并吊裝就位，鐘罩翻身前在尾部法蘭邊緣固定連接鐘罩翻身吊耳，頭部利用已焊接好的吊耳，通過主吊車和輔吊車配合實(shí)現(xiàn)翻身，然后由主吊車吊裝到位。

（圖/文/攝：太平洋汽車 整理于互聯(lián)網(wǎng)）